原子荧光光谱分析法（AFS）是用定强度的激发光源（线光源或连续光源）发射具有特征信号的光照射含有定浓度的待测元素的原子蒸气后，其中的自由原子被激发跃迁到高能态，然后去激发跃迁到某较低能态，（常常是基态）或去激发跃迁到不同于原来能态的另较低能态而发射出各种特征原子荧光光谱，据此可以辨别元素的存在，并可以根据测量的荧光强度求得待测样品中的含量。
If=K I0 N0 此式为原子荧光分析的基本关系式，该式说明，在定的条件下，荧光强度If与基态原子数N0成正比，也即If与待测原子浓度成正比。
AFS的主要特点：
（1）灵敏度较高；
（2）荧光谱线比较简单，因此光谱干扰小；
（3）分析曲线的线性范围宽；
（4）原子荧光是向各个方向辐射的，便于发展多道仪器进行多元素同时测定。
原子荧光分析（AFS）和原子吸收光谱分析（AAS）的异同点。
AFS和AAS有不同又有相同相似之处。
（1）两者的原理有本质上的不同，AFS是发射光谱分析，AAS则属于吸收光谱分析。AFS测量的原子荧光强度和AAS测量的吸光度都与基态原子浓度成正比关系。
（2）仪器结构和操作手续非常相似。但是AAS的仪器装置形式是光源—原子化器---单色器---检测器是直线，而AFS的光源与单色器不是在直线上，而是成90º，且AFS必须是使用强光源。
（3）检出限方面，AFS比AAS好，精密度这两种方法大致相同，相对标准偏差仅为1%。
（4）干扰情况相似，化学干扰、物理干扰和光谱干扰对两个方法的影响相似，但程度有不同，这与它们所采用的光源特性有关系。在AFS中光的散射干扰在定程度上比AAS严重。同时AFS中的荧光猝灭效应对荧光强度的影响也是比较严重的，以致在测定复杂基体的试样及高含量样品时，尚有定的困难。此外，散射光的干扰也是原子荧光分析中的个麻烦问题。
（5）与AAS比较，AFS还具有：多元素同时测定，仪器结构简单（非色散原子荧光仪），灵敏度高等优点。
（6）与AAS比较， AFS需要高浓度酸，标准需要预还原，实验条件较严等。
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